桃江高纯气体 高纯气体指通过现代提纯技术达到特定纯度等级的气体，其纯度标准因种类而异。例如氮、氢、氩、氦等纯度通常≥99.999%，而氧气纯度≥99.99%即可称为高纯氧 [1] [3] [5-6]。按分子结构分为有机（如甲烷、乙烯）和无机两类（如氢气、惰性气体）。主要应用于半导体工业的载气、保护气及混合气配制，同时在金属切割、分析仪器校准等领域发挥重要作用 [1-2]。

高纯气体技术发展依托低温精馏、吸附分离、膜分离等提纯工艺 [2] [7]。随着半导体产业升级，纯度要求从5N（99.999%）提升至6N（99.9999%）甚至ppb级别，杂质控制技术不断突破 [2-3]。国际标准采用SEMI体系，但巨头企业标准常高出1-2个量级，我国正加速推进自主生产技术以突破高端依赖